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            連續(xù)式多腔磁控濺鍍設(shè)備

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
            • 品牌 其他品牌
            • 型號
            • 產(chǎn)地
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 更新時(shí)間 2024/7/10 13:16:11
            • 訪問次數(shù) 539

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            北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì),專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

            我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

            北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

            客戶至上的服務(wù)理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)!

            合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

             

            半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

            應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子

            連續(xù)式多腔磁控濺鍍設(shè)備 In-Line的濺鍍沉積是指基板在一個(gè)或多個(gè)濺鍍陰極下方以線性的方式通過以獲取其薄膜沉積。其基板沿著軌道穿過各個(gè)真空腔內(nèi)。

            連續(xù)式多腔磁控濺鍍設(shè)備其電漿產(chǎn)生器有許多種類並且每一種都可使用,例如射頻電源、直流電源或脈衝直流電源。 還可以容納諸如濺鍍蝕刻、基板加熱或電漿清洗之類的可選步驟,並且具有完整的儀器和控制裝置可用於金屬導(dǎo)電薄膜、電介質(zhì)、光學(xué)薄膜或其他濺鍍應(yīng)用。

            SYSKEY的In-Line濺鍍沉積可精確控制其濺鍍製程條件,從而為客戶提供優(yōu)質(zhì)的薄膜。

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            應(yīng)用領(lǐng)域腔體
            • 奈米研究技術(shù)

            • 產(chǎn)品質(zhì)量控制和質(zhì)量檢查。

            • 材料研究。

            • 太陽能電池。

            • 觸碰螢?zāi)?/span>

            • TFT-LCD。

            • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究。

            • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和

              其應(yīng)用。

            • 具有顯示功能的全領(lǐng)域真空計(jì)和用

              於壓力控制的Baratron真空計(jì)。

            • 腔體的極限真空度約為10-7Torr。



            配置和優(yōu)點(diǎn)選件
            • 客製化基板尺寸最大為1100 x 1300 mm2(玻璃)。

            • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±5%

            • 高沉積速率≥ 250nm/min和高效率陰極。

            • 濺鍍功率:射頻 5kW,直流或脈衝直流20kW。

            • 具有高均勻的氣體分佈的流量控制器。

            • 穩(wěn)定的溫度控制,可將基板加熱到400°C

            • 水平或垂直濺鍍。

            • 基板載臺(tái)回流線

            • 自動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)。

            • OES、RGA或製程監(jiān)控的額外備用端口。





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